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在很多的半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中都會用到超純水處理設(shè)備，主要是作為生產(chǎn)的用水，該設(shè)備的產(chǎn)水電阻率達到了15兆歐以上。
超純水處理設(shè)備在凈水的過程中會用到樹脂，但樹脂很容易被污染使其失去了凈化的能力。在堿性的環(huán)境下無機物很容易形成氫氧化物的絮狀沉淀，或者是水中硅的含量較高時都會造成樹脂孔道的堵塞，影響了樹脂的交換能力。有些時候水中還會含有大量的重金屬離子，它會使樹脂的結(jié)構(gòu)發(fā)生改變，影響了樹脂的凈化能力，所以在原水進入到超純水處理設(shè)備前進行預(yù)處理是非常有必要的。
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